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EB-PVD靶材系列

文章 发布于:2018-07-23 作者:兴弘 新材料 浏览 次数:



典型 的化学成分
二氧化锆 ZrO2 balance
二氧化铪 HfO2 1.79
氧化钇 Y2O3 7.05
氧化铝 Al2O3 <0.01
氧化铁 Fe2O3 <0.01
二氧化硅 SiO2 <0.01
二氧化钛 TiO2 <0.01
氧化钙 CaO <0.01

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